光刻
蛛絲蛋白造光阻劑 陸中科院團隊3D製造加工技術突破14奈米
大陸中國科學院上海微系統所陶虎團隊與上海交通大學夏小霞、錢志剛團隊使用用基因重組的蜘蛛絲蛋白作為光刻膠（光阻劑），科學家實現分子級別精度的真三維（3D）奈米功能器件直寫，該技術加工精度可達14nm，較之前技術提升了1個數量級。
2021-09-22 14:40
解決晶片光刻機「卡脖子」難題 北京清大SSMB最新研究出爐
北京清華大學工程物理系教授唐傳祥研究組與國外合作團隊昨（25）日在《自然》（Nature）上發表《穩態微聚束原理的實驗演示》的研究論文，完成一種新型粒子加速器光源「穩態微聚束」（SSMB）的首個原理驗證實驗。唐傳祥認為，基於SSMB的EUV光源，將有望解決自主研發晶片光刻機中最核心的「卡脖子」難題。
2021-02-26 16:55
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